1 湿法转移
图 1展示了石墨烯湿法转移的流程，将铜箔上的石墨烯转移到目标基底上，中间要经过旋涂聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、去铜、烘烤、去胶、清洗等过程。由于转移流程较长，对操作过程的熟练程度往往对转移后的石墨烯薄膜质量影响很大。
图1 石墨烯湿法转移示意图
转移过程具体有以下步骤：
（ 1）配制刻蚀液： 称量 27 g 六水三氯化铁（ FeCl3·6H2O）放入烧杯中，将 100 ml去离子水倒入烧杯中，用玻璃棒搅拌均匀，使FeCl3·6H2O粉末在烧杯中完全溶解，形成浓度 ~1 M三氯化铁（ FeCl3）溶液，如图 2所示。
图 2 1M三氯化铁（ FeCl3）溶液
（ 2）配制 PMMA： 称量 4 g PMMA 粉末称好放入棕色广口瓶里，将 100 ml 丙酮缓缓放入瓶子里，水浴 50 ℃，保持磁力搅拌 1 小时，使 PMMA 颗粒全部溶解形成均匀的 PMMA溶液。在搅拌时广口瓶要密封，整个操作要在通风橱中完成。
（ 3）旋涂 PMMA： 将铜基(或镍基)的石墨烯安放于匀胶机，用滴管取适量 PMMA 溶液滴在石墨烯的表面，打开匀胶机，先以 100−500 rpm 的转速匀胶 1−5 s，再以 4000 rpm 转速旋胶 10−30 s， PMMA 薄膜层的厚度为 150−450nm。
（ 4） 烘烤： 将涂有 PMMA 层的样品，放置到 135−170 ℃热板上烘烤 30−50 min，使 PMMA与石墨烯层紧密贴附。烘烤结束后，将样品从热板上取下，冷却至室温。
（ 5）去铜（或镍层）： 将烘后的样品，放入三氯化铁（ FeCl3）溶液中，使之漂浮在溶液表面，如图 3所示。刻蚀 30−60 min，使Cu 完全去除。
图3 漂浮在三氯化铁（ FeCl3）溶液表面的样品
（ 6）清洗： 待 Cu 去除干净后，用一个清洁抛光后的硅基片（或其它抛光基片）将 PMMA/石墨烯膜轻轻拖出移至去离子水中，使其保持漂浮状态，浸泡 10 min，再移至干净离子水中浸泡 10 min，如此 3 次，以保证残余的三氯化铁去除干净，如图4所示。
图4 清洗干净后的 PMMA/石墨烯薄膜
（ 7）转移： 用一个清洁的硅基片将 PMMA/石墨烯膜从去离子水中轻轻拖出，将其转移到目标基底（石英、高反镜等）的表面。操作时，先使 PMMA/石墨烯膜与目标基底一端接触，然后轻轻将硅基片抽出，使 PMMA/石墨烯膜与目标基底完全帖附，避免中间产生气泡。帖附结束后将样品自然干燥。
（ 8）烘烤： 将干燥后的样品再次放置到热板上烘烤，烘烤温度 135−170 ℃，烘烤时间 30−50min，使石墨烯薄膜与目标基底紧密帖附，烘烤结束后将样品取下自然冷却至室温。
（ 9）去除 PMMA： 将烘烤后的样品放入盛有丙酮的烧杯中，缓慢加热丙酮至 70−100 ℃，30 min 后将烧杯中的样品取出再次放入干净的烧杯中重复以上步骤 3 次，将 PMMA 完全除去。
（ 10）去除丙酮： 将样品放入盛有酒精的烧杯中清洗 2 次去掉丙酮，再将样品取出放入去离子水中清洗 2 次去掉酒精，最后将样品放入烘箱中干燥 10−15 min，烘箱温度设定在 ~50℃，选取中等风力。
2 干法转移
石墨烯的干法转移与湿法转移的前 8 个步骤类似，不同之处在于，第 9、 10 步的去胶工艺。如图5 所示，以下是干法转移的具体步骤：将湿法转移的前 8 步处理后的样品放入管式炉内，通入氢气和氩气的混合气体，气体流速 500sccm，比例 1： 1, 将炉子升温300−450 ℃，热处理 2.5−5 h 将 PMMA 去除干净。
图5 石墨烯干法转移示意图
3 热剥离胶带转移法
转移石墨烯除了用 PMMA 作石墨烯的支撑膜，还可以用热剥离胶带作支撑膜。热剥离胶带在常温下具有较强的粘性，在 80−120 ℃时其粘性则迅速丧失。利用这个特点，在 温下使其帖附在 Cu 基的石墨烯表面，带 Cu 取出后，将热剥离胶带/石墨烯帖附在目标基底上，加热 80−120 ℃，使热剥离胶带丧失粘性与基底脱离，石墨烯则被保留在了目标基底上。与 PMMA 相比热剥离胶带具有独到的优势，热剥离胶带的转移过程不涉及去胶过程中的丙酮处理（湿法），也不涉及高温处理（干法），因此使用热剥离胶带转移法可将石墨烯转移到不耐丙酮、不耐高温的有机基底上，如 PET 基底， PVDF 基底。以 PET 基底为例，下面简述热剥离胶带转移法的转移过程，图 6所示：
(1) 施加 0.1 MPa 的轻度压力将热释放胶带压贴于铜基石墨烯薄膜上。
(2) 将样品漂浮于 1 M 的氯化铁蚀刻剂中除去铜箔。
(3) 用去离子水将样品浸泡除去样品表面的残余的氯化铁蚀刻剂，浸泡 3 次，每次 30 min，以保证残余的氯化铁蚀刻剂完全除干净。
(4) 将样品从去离子水中取出，放在通风橱中晾干，将带有石墨烯薄膜的热剥离胶带压附到 PVDF 膜上。
(5) 放置在 80 ℃的加热平台上。热剥离胶带在热量的作用下丧失粘性与石墨烯分离，而石墨烯薄膜保留在了 PET 基底上。
图6 热剥离胶带转移法示意图
